機械系統方案設計

機械系統方案設計

　　微電子機械系統技術將機電系統的實用性、智慧化和多樣化發展到了一個全新的高度。當今微電子機械系統技術已經對農業、環境、醫療、軍事等領域產生了重大的影響，也影響著人們的生產和生活方式，相信在不久的以後微電子機械系統技術將會成為我國社會經濟發展不可或缺的重要部分，為我國經濟發展起到巨大的推動作用。下面請看小編帶來的機械系統方案設計！

　　機械系統方案設計

　　1. 微電子機械系統的概念

　　微電子機械系統主要結構有微型感測器、制動器以及處理電路。其是一種微電子電路與微機械制動器結合的尺寸微型的裝置，其在電路資訊的指示下可以進行機械操作，並且還能夠透過裝置中的感測器來獲取外部的資料資訊，將其進行轉化處理放大，進而透過制動器來實現各種機械操作。而微電子機械系統技術是以微電子機械系統的理論、材料、工藝為研究物件的技術。微電子系統並不只是單純的將傳統的機電產品微型化，其製作材料、工藝、原理、應用等各個方面都突破了傳統的技術限制，達到了一個微電子、微機械技術結合的全新高度。微電子機械系統是一種全新的'高新科學技術，其在航天、軍事、生物、醫療等領域都有著重要的作用。

　　1. 2微電子機械系統技術的特點

　　1.2.1尺寸微型化

　　傳統機械加工技術的最小單位一般是cm，而微電子機械系統技術下的機械加工往往最小單位已經涉及到了微米甚至奈米。這以尺寸的巨大變化使得微電子機械系統技術下的原件具有微型化的特點，其攜帶方便，應用領域更加廣闊。

　　1.2.2整合化

　　微電子機械系統技術下的原件實現了微型化為器件整合化提供了有力的基礎。微型化的器件在整合上具有無可比擬的優勢，其能夠隨意組合排列，組成更加複雜的系統。

　　1.2.3矽基材料

　　微電子機械系統技術下的器件都是使用矽為基加工原料。地面表面有接近30%的矽，經濟優勢十分明顯。矽的使用成本低廉這就使得微電子機械系統技術的下的器件成本大大縮減。矽的密度、強度等於鐵相近，密度與鋁相近，熱傳導率與鎢相近。

　　1.2.4綜合學科英語

　　微電子機械系統技術幾乎涉及到所有學科，電子、物理、化學、醫學、農業等多個學科的頂尖科技成果都是微電子機械系統技術的基礎。眾多學科的最新成果組合成了全新的系統和器件，創造了一個全新的技術領域。

　　2微電子機械系統的技術類別

　　2.1體微機械加工技術

　　體微機械加工技術主要將單晶矽基片加工為微機械機構的工藝，其最大的優勢就是可以製作出尺寸較大的器件，最大的弊端是難以製造出精細化的靈敏系統。並且使用體微加工工藝難以最佳化器件的平面化佈局，製作出來的器件難以與微電子線路直接相容。體微機械加工工藝一般在壓力感測器和加速度感測器的製造中普遍應用。

　　2.2表面微機械加工技術

　　表面微機械加工技術就是透過積體電路中的平面化技術來實現微機械裝置的製造。其主要優勢表現在充分利用了已有的IC工藝，能夠靈活掌握機械器件的尺寸，因此表面為微機械加工技術與IC之間是相容的。表面微機械加工技術與積體電路的良好相容性使得其在應用領域實現了快速普及。

　　2.3複合微機械加工技術

　　複合微機械加工技術就是體微機械技工技術與表面微機械加工技術的結合，其結合了兩者的優點，但又同時避免了相應缺點。

　　3微電子機械技術的應用

　　3.1環境科學領域

　　微電子機械系統技術下的微型裝置可以在環境監測和資料處理分析上發揮巨大的作用。由化學感測器、生物感測器以及資料處理系統所集合的測量與處理裝置。該微型裝置可以用來監測空氣和液體的成分，其獨特優勢在於尺寸微小，便於攜帶。

　　3.2軍事領域

　　奈米器件所構成的裝置先要對半導體器件執行速度高，攜帶方便，資訊輸出和處理快捷，在軍事領域其能夠用來製作各種微型裝置，例如“蚊子導彈”、“麻雀衛星”等。

　　3.3醫療領域

　　在臨床化驗分析、介入治療領域其也能夠實現巨大的價值。近幾年獲得發展的介入治療技術與傳統治療技術相比臨床治療效果優越，能夠有效緩解患者痛苦。但是當前介入治療儀器價格高，體積巨大，準確性難以保證，尤其是在治療重要器官時風險較大。微電子機械系統技術的微型與智慧特性可以顯著降低介入治療的風險。

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